江苏微导纳米科技股份有限公司

微导首套300mm晶圆先进集成电路制造ALD量产装备发货

微导首套300mm晶圆ALD量产装备发货——微导5周年献礼

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25

2020-12

全球首个基于520mm大管径PEALD技术5GW大硅片高效电池基地— 微导创新技术助力PERC电池生产揭开新篇章！

首个基于520mm大管径PEALD技术5GW大硅片高效电池基地—微导创新技术助力PERC电池生产揭开新篇章!

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02

2020-09

微导首创PEALD技术助力TOPCon电池量产

　快报!微导首创PEALD技术装备在TOPCON电池量产结果取得进一步突破，电池转换效率已达到了23.9%。搭配其它工艺步骤，效率可超过24%!

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04

2020-08

微导ALD技术助力量产高效太阳能电池转换效率超越23%

近日，江苏微导纳米科技股份有限公司从全球知名高效太阳能电池制造龙头企业获悉，双方合作的基于原子层沉积（ALD）技术PERC电池产线取得突破性进展

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30

2020-05

全球首台适用于TOPCon技术的ALD设备正式进入量产阶段

江苏微导纳米科技股份有限公司研发的全球首台适用于TOPCon技术的ALD设备正式进入量产阶段。微导研发的祝融系列(ZR4000X2)薄膜沉积设备平台，用于Topcon电池生产技术，产品已交用户使用，工艺参数的开发及优化取得重大技术突破，随着中试线的搭建完成，相应的高效Topcon电池即将面世。

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13

2020-03

微导TOPCon电池设备取得新的技术突破

近日，江苏微导纳米科技股份有限公司与光伏客户及南通大学合作研发的新一代高效太阳电池技术取得突破性进展。项目把原子层沉积(ALD)技术制备的超薄(~3nm)氧化铝薄膜应用于N型TOPCon结构商用电池(边长158.75mm衬底)的硼扩散正表面，取得了23.55%的超高转换效率，开路电压超过700mV，填充因子81%以上。

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12

2020-02