近日，微导纳米先后中标2家头部太阳能制造商的年产20GW TOPCon高效太阳能电池项目，截止目前，公司已斩获Topcon等相关新型高效电池订单近80GW。本次近3亿元的光伏ALD设备大额重复订单彰显了客户对公司产品的充分认可，也将进一步巩固和深化微导纳米与高效电池制造龙头企业的业务合作。
夸父（KF）系列原子层沉积系统
此次销售的夸父（KF）系列原子层沉积系统，是微导纳米基于成功量产机型、原创设计的第五代产品，采用公司自主知识产权的反应腔体设计、先进的薄膜沉积和自动化集成技术，可为高效晶硅太阳能电池表面钝化提供高质量、超薄钝化膜的制备。其代表了光伏行业国产创新设备的先进技术，在提供超高产能的同时，最大程度地降低了设备的运营成本，为客户提供了可靠的量产解决方案，引领行业TOPCon高效电池量产导入。
Smart AEP ® TOPCon整线工艺技术
更值得关注的是，微导纳米最新研制的Smart AEP® TOPCon整线工艺技术，九大步骤、四大类设备，光电转化效率已超25%，可提供全新的TOPCon整线工艺技术解决方案，打造业内领先的下一代高效电池生产线。在PERC电池背面及 TOPCon电池正面的氧化铝和氮化硅叠层的制备中，公司全球首创高产能批量型ALD设备，搭载行业创新的PEALD二合一专利技术，能够在同一台设备中完成两种薄膜的制备，除了能提高薄膜质量以提供更好的钝化效果之外，还有效降低设备投资与生产成本，是PERC产线升级TOPCon技术的首选方案。
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