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我们是绿色家园的推动者
我们是科技创新、自立自强的践行者
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全国
1
st
ALD产品市占率
全国
80
亿+
在手专用设备订单
全国
100
%+
5年营收复合增长率
江苏微导纳米科技股份有限公司(简称“微导纳米”,股票代码688147.SH)成立于2015年12月,是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖集成电路、光伏、LED,及MEMS 等泛半导体相关领域,以及新能源和柔性电子领域;主要产品为应用于逻辑芯片、存储芯片、光伏电池、硅基微显示、化合物半导体和3D封装等半导体及泛半导体的专用设备和成套技术,以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池整线的量产解决方案。
我们的战略
01
面向全球的半导体
泛半导体高端微纳装备制造商
02
ALD技术为核心
CVD等多种真空薄膜技术梯度发展
03
半导体行业内多项设备
关键工艺指标达到国际先进水平
04
光伏行业内提供高效电池技术
与设备的领军者之一
05
ALD产品营收规模方面
位居国内同类企业第一
我们的进展
公司成立-2017.07
  • 公司成立于2015年12月25日
  • 一代机KF4000研制成功,全球首创将ALD技术规模化应用于光伏领域
2017.08-2018.05
  • KF6000成功在光伏龙头企业通威太阳能完成量产验证
  • 研发以臭氧工艺为核心工艺的KF10000S机型,产能提升至10000片/小时
2018.05-2018.12
  • 夸父(KF)系列在各大光伏头部企业产线开始量产爬坡,公司产品在行业内知名度进一步提升
  • 夸父(KF)原子层沉积设备被评定为“江苏省首台(套)重大装备产品”
  • 启动半导体领域与柔性电子领域机型的研发工作,公司实施产品线多元化战略
2019.01-2020.12
  • 推出祝融(ZR)系列PEALD+PECVD二合一设备,首次将PEALD技术应用于光伏领域
  • 半导体领域ALD镀膜设备研发成功,完成多种集成电路关键材料工艺验证,并与客户签订订单
  • 公司进行股份制改造,连续完成两轮融资,并引入多家知名投资机构
2020.12-2022.12
  • 2022年12月23日,公司成功登陆上交所科创板
  • 在光伏领域,公司高端光伏装备陆续获得包括阿特斯、隆基股份、爱旭股份、晶科能源等多家重要光伏客户订单,引领TOPCon高效电池的量产导入,从PERC/PERT进一步向TOPCon乃至HJT/IBC技术延伸
  • 在半导体领域,公司是国内首家成功将量产型High- 𝘬原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备公司,正式进军逻辑芯片、先进存储、3D-IC等镀膜制造领域
2023.01-至今
  • 半导体领域,公司以 ALD为核心正逐步拓展 CVD 等多种真空技术和产品
  • 光伏领域,公司持续推进以 ALD 为核心的工艺整线策略和新一代高效光伏电池技术开发
  • 同时依托产业化应用中心平台,探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的发展机会
公司成立-2017.07
首台产品研发验证阶段
2017.08-2018.05
下游龙头客户攻坚阶段
2018.05-2018.12
市场与产品突破阶段
2019.01-2020.12
公司加速发展阶段
2020.12-2022.12
公司战略升级发展阶段
2023.01-至今
扩张新兴应用领域
我们在行动
公司先后荣获国家专精特新“小巨人”企业、中国独角兽企业、江苏省小巨人企业(制造类)等荣誉称号,并被认定为江苏省企业技术中心、江苏省工程技术研究中心、江苏省工程研究中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站等。在不断完善自有研发平台建设、持续巩固自身研发实力的同时,我们与复旦大学、上海交通大学、南京大学、芬兰赫尔辛基大学、澳洲新南威尔士大学等知名院校均建立了良好的合作关系,共同推进技术的创新发展。
公司荣誉

国家“专精特新”小巨人企业

国家高新技术企业

2021中国独角兽企业

苏南国家自主创新示范区独角兽企业

江苏省双创团队

江苏省博士后创新实践基地

江苏省研究生工作站

江苏省外国专家工作室

江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心

江苏省原子层沉积技术工程研究中心

江苏省企业技术中心

中国半导体创新产品和技术

江苏省首台(套)重大装备产品

TOPCon电池设备行业领跑者

“光能杯”最具影响力设备企业

“光能杯”最具影响力光伏“智造”企业

2023江苏省服务型制造示范企业

第七届IC创新奖 技术创新奖

会员资质
01
质量方针
  • 严格落实“创新 质量 诚信 服务”的质量方针
  • 追求细节和完美的设计与制造
  • 为客户提供满意的产品和服务

ISO9001:2015

ISO14001:2015

ISO45001:2018

《企业知识产权管理规范》
(GB/T29490-2013)

SEMI S2半导体制造设备安全及环保标准

SEMI S6半导体制造设备排气通风标准

SEMI F47半导体制程设备
电压跌落抗扰度标准

CE欧盟认证

02
社会责任与可持续发展
  • 我们坚持可持续发展理念,助力绿色能源产业发展
  • 我们积极履行企业责任,共建和谐稳定的社会环境
  • 我们将“诚信守约”写入企业核心价值观,推动产业链合作、互利共赢
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一起向未来
公司愿景
成为世界级的微纳技术解决
方案装备制造商
公司使命
创新驱动、引领未来
为客户创造价值
核心价值观
以客户为中心、艰苦奋斗
诚信务实、无私担责、全面创新
专注、极致、口碑、快